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距离上次路阳离开长春光机所,已过去10天时间,这边大部分设备已都到位。
见到廖老时,明显感觉老人的精神萎靡了许多,看来这边进展缓慢。
“廖老,要注意休息,劳逸结合嘛!”
见到路阳回来,老人明显很高兴,“你小子还好意思说我,你不也一样!”
“我还年轻,身体扛得住。”说完路阳走近老人,低声继续说道:“EDA那边已补全。”
果然,廖老一听到这消息,感觉精神瞬间恢复了很多,脸上难得的泛起一丝笑容。
“这算是最近听过最好的消息了。”
“怎么,进度很慢吗?”
廖老轻叹,“是啊!白教程已经连续两天没睡了,前两天强行生产了一批镜片,差距太大了,柴文政跟丁冉两人也大受打击。”
“差距有多大?精密光滑度始终超不过2纳米,比23所的的1纳米都还差一个量级,三人已经找了两天原因。”
“设备都到齐了?”路阳问道,强行加工,太容易打击气势了。
“还有两款设备在海关,走特色通道明天应该能到。”
路阳对廖老说道。
“都去休息吧,养好精神明天再战!”
当路阳见到白教授与23所的两位老师时,险些认不出,几人面容憔悴,唇色发白,头发看起来像几天没打理过的样子,深陷的眼眶让人看起来格外担心。
路阳说道:“三位老师去休息吧,这里我来看着就行,等设备到了,我们再继续!”
三人像是没见到他般,继续讨论着,白学礼手中还拿着烟,“没道理啊,按理来说,离子抛光工艺也是按资料中设置的参数,就算设备是替代品,差距也不该如此大?”
来自23所的柴文政没有了刚到时那般意气风发,吸了口烟,“我已经计算过10几次,所里的这台粒子束装置可以说是华国最先进的,不可能有这么大的误差,一定是其他方面的原因。”
“也许并非装置问题,而是计算公式的问题,或者材料方面?”
同样来自23所的丁冉说道,她跟柴文政对所里的设备仍保持着极大的信心,这台离子束装置曾经完成过多次任务。
廖老这下是彻底看不下去了,不能未战先倒,“去休息吧,这是命令,醒来了我们再讨论!”
洪亮的声音响彻整个工作间,三人被拉回现实,“廖老,哦,还有小罗也回来了!”
柴文政第一个反应过来,说道。
丁冉本想说这对她们是常事,但抬头看到工作间中的其他人,除了刚回来的路阳,状态都非常糟糕。
“白教授,还是听廖老的吧,说不定睡醒了会有新的发现,在研究中这不是常有的事吗?”
待几人都回去休息,路阳独自在工作间发呆,表面上看,现在已经取得了不小的进展,但真正涉及顶尖技术的项目,还未正式展开。
EUV镜头以及镜片组的制造,主要是四个方面,
材料方面:EUV反射镜需要使用特殊的材料,例如钼、铥等元素的多层膜结构,这些材料需要具有很高的纯度和均匀性。钼跟铥华国都是产能大户,长春光机所不可能缺,核心材料氧化硅更不是问题。
设备方面:需要使用高精度的设备进行制造,例如电子束物理气相沉积设备、磁控溅射设备等,这些设备需要满足高真空环境、高温、高能量等特殊要求,跟蔡司那样的百年企业相比,这方面出问题的可能性最大。
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