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第73章 纳米光刻机一（第1页）

跟镜片一起运抵苏硅的还有大连光源最新研发的激光器，比之前申城微电子使用的镜片技术要高2-3代，这得益于EUV镜片加工线的先进技术，背后也有23所离子抛光技术的影子。

而且大连光源提供的激光器使用的也是最问道的DPP-EUV技术，尽管距离ASML最先进的技术还有差距，但用于DUV光刻机已然足够，海思团队看到激光器时都信心大增，何洪年知道这应该是用于EUV的光源。

收到镜片后，温天洋立刻组织人手开始按照图纸组装镜头，分别是26枚镜片与22枚镜片两个方案。

无论是哪个方案，对于海思来说难度不小，镜片最长直径为1.2m，20多枚镜片定心安装，对工艺和量测设备都是超高挑战，DUV光刻机镜头可以看作是放大版的相机镜头，由20几枚凹凸镜片组成。

与单反镜头不同，光刻机的镜头上下使用的都是直径较大的镜片，中部由直径较小的镜片构成，形成漂亮的腰身曲线，腰身的镜片组还必须能上下移动，用于调节光源。

镜头组装好后还得配备冷却系统，内部为气冷装置，外部则是水冷系统。

路阳跟廖老赶到苏硅时，海思团队已经开始着手镜头组装，看着净室内忙碌的众人，廖老脸上露出满意的神色，无论是什么目的，华微能在这个特殊时间段参与进来，对华国的半导体芯片帮助不小。

何洪年见到廖老与路阳，心中大定，看来廖老还是很关心这边进度的。

“廖老，非常感谢您的支持，激光器那边已经验收，助力不小啊！”

廖老脸上出现不常见到的笑容，说道：“你们也辛苦了，听路阳说了你们设计的两套方案，过来看看，无论是光源跟镜片都是最新的技术，如果在DUV上能稳定，我们受益不小。”

“年哥，镜头组装需要多长时间？”路阳问道，他对工作量一直无法预估，毕竟都是头一回。

“镜头组需要1天时间，冷却系统1天，这还是我们提前演练过的，原来那台DUV的镜头组已经被反复拆卸好几次了，没什么问题，只是朱易那边的双工件台系统耗时要长些，整台设备的组装最快也要1周左右。”

何洪年对海思团队的效率是很骄傲的，准备工作做得非常充分。

廖老接着问道：“申城微电子那边的人到了吧，浸没式技术已经更新，这次升级直接用最新的吧。”

“前两天到的，多亏了他们的帮忙，朱教授这边才能把时间缩短到3天。”

路阳换好衣服，进入内间，系统已经很长时间没反应了，不知这种非插电情况会否有反应。

何洪年走到廖老身边低声问道：“廖老，不知EUV那边的进度如何了？是否有我们能帮忙的地方？”

看来华微的情况不乐观啊，廖老并未介意，何洪年这么多年的坚持，大家都能看到，华微海思在他的带领下杀出一条血路，外界甚至怀疑其研发实力已不下于三星与苹果了，只是受限于市场罢了。

“你们有这心很好，小路说你们有意参与到华芯光学来，我是赞同的，最近局势不稳，华微的一言一行都在聚光灯下，参与的方式最好隐秘些。”

何洪年一听大喜，“谢谢廖老！”

“不是谢我，何总啊，无论是DUV还是EUV，明面上都是华芯的，这点你要记住，路阳对于华夏半导体是不可缺少的关键，至于EUV的进度，不好说，DUV跟他的差距就像是小学生跟教授。”

尽管答案在预料中，何洪年还是一阵无奈，起步太晚了啊！

“明白，不过我想以华芯的实力，还有廖老的主持，一切都只是时间问题。”

温天洋看着路阳进来，赶紧向其介绍道：“镜头组差不多组装完成了，现在在安装的是气冷与检测系统。”

“速度还是很快的嘛，看来温总没少下功夫啊！”路阳伸手触摸着镜头组的外壳机身，室外的廖老眉头一皱，旋即恢复正常。

“镜片都检测过了，各方面数值非常不错，我们还做了次对比，不比ASML的差，华芯在这方面进步不小啊。”

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