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第75章 纳米光刻机三（第1页）

廖老接过满是芯片的晶圆，手指轻弹了下，脸上并未有失望的表情。

“至少现在设备没停下来，统计所有数据，把问题都汇总下来，实验不都这样吗？”

目光扫过众人，年龄偏长的表情并无太大变化，海思团队的科学家们也没多少情绪起伏，这对他们来说是常事了。

何洪年站了出来，“诸位辛苦了，28纳米本来就是目前DUV光刻机的极限，更何况我们还加了双工件台，一个月时间想要完成别人几十年的积累，可能性几乎不存在。”

“到目前为止，我们的生产线还一直在运转，这便开了个好头，把各类型数据都记录好，分析会我们再复盘，出现问题，解决问题，我们一定能成功。”

路阳走出净室便听到廖老洪亮无比的声音，俩人视线对上，路阳点头示意搞定，后者脸上笑容渐显，声音越发有力。

“华卓的双工件台非常稳定嘛，已经超过30分钟了，不错，这么短的时间能达到这种效果，没给我们清大丢人。”

这番话让朱易等人松了口气，学院派对于封零是相当介意的。

没过多久第二批晶圆测试结果出来，良品率0.3%，芯片果然“玄学”，讲就“风水”。

“哈哈，不错！”能看出廖老今天兴致非常高，只有路阳明白为什么，遗憾的是系统虽然有了反应，但错误提示与修正难度还是过于复杂。

脑内科技树时隔多日再次点亮，28纳米浸没式双工件台光刻机，单次曝光能生产14纳米制程芯片，两次曝光可生产7纳米制程芯片，极限3次曝光可生产5纳米芯片，详细包含了光刻机生产线的所有具体内容。

其次是系统报错与优化项目，一共89项，路阳也并非当初只了解皮毛的初哥，对光刻机的各项技术都有了深刻的认知，他能轻易判断出现有生产线改进难度要远小于系统给的第一套方案。

众人的焦点再次集中在净室内的光刻机上，有了两位大佬的一番鼓励，压力减小很多，哪怕现在停止运行，也是可以接受的结果，所有人都在想着光刻机什么时候会报错停止。

然而世事总是如此，越想它发生，它偏要惊艳众人，更生生的持续了6小时才报错停止，而且良品率神奇的上升到1.2%，连路阳都忍不住佩服这个临时组成的团队，尤其是华卓工件，廖老与何洪年都不知道第几次表扬他们了。

周怀义在食堂安排了简单的晚宴，何洪年作为项目的总负责人在廖老示意下，当即宣布停团队休息3日，休假结束后召开复盘会。

路阳借口送廖老回酒店，提前离开，刚出食堂，见四下无人，把情况一五一十的跟廖老做了详细汇报。

老人表情不断变化，思索着两种方案可能造成的后果。

“你现在能不能判断两个方案所需时间的差距？”

路阳考虑片刻回答道，“老师眼光真准，两个方案具体耗时我无法估算，但前者要替换掉7层以上的现有技术与设备，好在光刻机的镜片是达标的，第一套方案的镜片数量优化到了18枚。”

“7层以上是吗？首先，消化这批新技术需要部分时间，设备改进或制造需要时间，反倒是建造生产线的时间可能是最少的，这样算下来的话，至少需要3个月以上。”

廖老笼统的算了下，接着又问道：“确定设备不需国外采购？”

“按以往的经验应该不需要，廖老，要不还是等我把资料做出来再确定？”

“多久？还是要注意身体影响，别以为自己年轻就可以肆意挥霍！”

“优化方案内容不多，2天时间应该够，至于第一套方案，最少需要5天。”

这是路阳根据之前EUV光刻机的经验判断的，上次连续肝了10天让他记忆尤为深刻。

“廖老，刚好放了3天的假，我先把优化方案做出来，团队不能停，海思的一部分人可能会加入到华芯光学，华卓的团队以后也会跟我们绑定，无论我们最后选择哪种方案，放出多少技术，都不应该影响到整个团队。”

“另外就是第一套方案，覆盖的范围非常广，基本上包含了半导体芯片的上中游技术，如何放出，会造成的影响这些都需要上面认真考虑。”

廖老看到路阳一脸认真的表情，欣慰道，“小路成长不少啊！真如你所说，影响的就不仅仅是半导体产业了，一旦西方知道我们全面掌握DUV光刻机的技术，无法再实施技术封锁，那他们会怎么办？”

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